更新時(shí)間：2025-09-28
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漢默質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
測(cè)量質(zhì)量流量
無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償
結(jié)構(gòu)緊湊
精度高
工作壓力高
響應(yīng)時(shí)間快
重復(fù)性高
漢默質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
量程范圍：5SCCM-1500SLPM
精度：±1%滿量程
量程比：50：1
重復(fù)性：<0.2%讀數(shù)
操作溫度：-10~50℃
泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He
預(yù)熱時(shí)間：標(biāo)準(zhǔn)30min
壓力等級(jí)：3MPa;10MPa
接液材質(zhì)：316L
密封材質(zhì)：標(biāo)準(zhǔn)Viton，可選EPDM、Kalrez
防護(hù)等級(jí)：IP40
供電電源：+15~24VDC
電流：70mA
模擬量輸出信號(hào)：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC
數(shù)字輸出信號(hào)：無(wú)
電氣接口：標(biāo)準(zhǔn)DB9 M
過(guò)程接口尺寸：可選
漢默質(zhì)量流量控制器訂貨參數(shù)
氣體種類
量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）
使用壓力
入口壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號(hào)
過(guò)程接口尺寸
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